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相反，示范试运小型化程度主要由标准单元（逻辑单元的最小单位）的栅极节距和最小布线节距决定（严格来说是两者的乘积）。随着MOSFET从平面结构转变为三维FinFET，线路曾经作为小型化指标的栅极长度（或沟道长度）不再具有任何定义意义。吉电交通该图的右上方显示了每个部分与硅芯片面积的比率。

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